진공 증착 박막 두께 추정 방법

한 지점을 중심으로 고르게 분포 증착 된 다는 가정하에 진공 증착 박막의 두께는 다음과 같이 계산 할 수 있다.

 

R=소스 포인트에서 기판까지의 거리

ρ=원재료의 상대적 무게

a=기하학 상수(=2)

 

R=10cm,

m(Al)=1gr,

ρ(Al)=2.7g/ml,

 

Al 막두께 t=1.47㎛가 된다.