sputtering1 스퍼터링의 박막 성장 과정에 대해서 박막은 기판에 물질의 원자를 대상 샘플, 시편, 웨이퍼 섭스트레이트 등에 증착하여 성장시킨다. 증착 물질의 원자단위 증착은 그 성장 과정이 다음과 같다. 1. 모든 물질의 박막 성장은 무작위의 핵 생성 프로세스로부터 시작된다. 2. 핵 생성 및 성장 단계는 성장 온도, 성장 속도 및 기판 표면 화확적 상태 등과 같은 다양한 증착 조건과 환경에 따라서 달라지게 된다.(프리 스퍼터링을 통해 이러한 변화를 최소화 하는 과정이 필요하다.) 3. 핵의 형성 단계에서는 전자 또는 이온 충격과 같은 외부 변화에의해 핵 형성이 바뀔 수 있다. (보통 처음 시드 형성 공정 압력을 높게 하고, 증착 구간에서는 낮은 공정 압력을 유지하게 된다.) 4. 핵 형성 단계의 증착 조건에 따라서 필름 미세 구조와 그에 따른 결함 및.. 2023. 2. 22. 이전 1 다음
